Die Vakuumkammer besteht aus einer Aluminiumlegierung.
Ultra-niedrige Temperatur: Die Temperatur beträgt nur 40 Grad
Rundum-Oberflächenreinigung: Anisotropes Plasma kann in die Feinstspaltreinigung eintreten
Umweltschutz: Vor und nach der Behandlung werden keine schädlichen Substanzen erzeugt und der menschliche Körper wird nicht durch schädliche Lösungsmittel geschädigt
Stabilität: Kontinuität und Konstanz zur Aufrechterhaltung der Stabilität von Maschinen und Anlagen während des Betriebs
Reinigung: Entfernung von Staub und Öl, Feinreinigung und antistatisch
Aktivierung: verbessert die Haftung der Oberfläche, die Oberflächenenergie des Objekts wird stark erhöht
Verblassen: AF/AS-Ebene verblasst
| Funktionskonfiguration | technische Parameter | |||
| Modell | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
| Maße (mm) | L=1200 W=920 H=1690 | |||
| Innengröße der Vakuumkammer (mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
| Vakuumkammermaterial | Rostfreier Stahl | |||
| Elektrodenplattengröße (mm) | 319（L）×374（W） | 320（L）×420（W） | 380（L）×440（W） | 520（L）×470（W） |
| Elektrodenplattenmaterial | Spezielle Aluminiumelektrode | |||
| Last | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG |
| Steuerung | PLC+ Touchscreen | |||
| Elektrodenplattenstruktur | Ebene 8 Etagen | |||
| Vakuumpumpensystem | Zweistufige Öl-Drehschieber-Vakuumpumpe, Roots-Vakuumpumpenset | |||
| Vakuummesssystem | Pirani-Widerstands-Vakuummeter | |||
| Gasmesssystem | Hochpräziser Massendurchflussmesser | |||
| Plasmagenerator | Hochpräziser 0-500W Plasmagenerator | Hochpräziser 0-1000W Plasmagenerator | ||
| Plasmamatcher | Hochpräziser 0-500W automatischer Matcher | Hochpräziser 0-1000W automatischer Matcher | ||
| Arbeitsvakuum | 10-100 Pa | |||
| Enddruck der Vakuumpumpe | 5×10-1 Pa | |||
| Vakuumzeit | ≤ 55S | ≤ 70S | ≤ 80S | ≤ 100S |
| Vakuum-Bruchzeit | ≤ 15S | ≤ 20S | ≤ 25S | ≤ 30S |
| Gasregelbereich | Massendurchfluss 0-300SCCM (optional) | Massendurchfluss 0-500SCCM (optional) | ||
| HF-Netzteil | 0-500W (innerhalb des Bereichs einstellbar) | 0-1000W(Einstellbar innerhalb des Bereichs) | ||
| Betriebsmodus | Manuelles Pick-and-Place, automatische Ein-Tasten-Bedienung | |||
| Energieversorgung | Drei Phasen 380V | |||
| Totale Kraft | 4 KW | 4.5 KW | ||
