概述
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，注入介质气体、通过射频电源起辉产生高能量的等离子体。等离子体轰击被清洗物表面，与有机污染物发生化学及物理作用，形成挥发性化合物，随工作气体排出，达到清洗的目的。
原理
等离子清洗是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。
下面以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例，说明这些作用。从分析可以看出，等离子体对油脂污垢的作用，类似于使油脂污垢发生燃烧反应；但不同之处是其在低温情况下发生的“燃烧”。
其基本原理：在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，油脂分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，并从物体表面被清除。从以上可以看出，用等离子体清除油污的过程可使有机大分子逐步降解的过程，最终形成的是水和二氧化碳等小分子，这些小分子以气态形式被排除。等离子清洗的另一个特点是在清洗完成之后物体已被彻底干燥。经过等离子体处理的物体表面往往形成许多新的活性基因，使物体表面发生“活化”而改变性能，可以大大改善物体表面的润湿性能和黏着性能，这对许多材料是非常重要的。因此，等离子清洗具有许多溶剂进行的湿法清洗所无法比拟的特点。
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