设备系统支持多个版本(PLC/PC)，支持主流多种通讯协议；
设备依SEMI安全生产标准设计生产；
通道设计产能高，UPH400~550pcs；
适用多种产品尺寸及弹夹；
MFC晶圆级专利设计，防止气体泄漏引发安全事故(可使用氢气等高危气体）；
腔体高密封专利设计最高可达 5pa以内；
水滴角<10°(与清洁表面材质相关)；
四通道设计，同时处理4个产品，配置双下电极，节省进出板时间，效率大幅提升，保证处理产品均性。
| 功能配置 | 技术参数 | |
| 设备尺寸 | 长X宽X高(mm) | L1600 xW1150 XH1700 |
| 净重(kg) | 1000 | |
| 设备周边间隙(mm) | 后面600,两边600 | |
| 腔体 | 容积(L) | 约9 |
| 通道(条) | 4 | |
| 下电极(块) | 2(待料功能) | |
| 上料方式 | 弹夹 | |
| 适应产品尺寸(mm) | 宽度：40-100长度：150-300 | |
| 电极 | 电极尺寸(mm) | 528×300 |
| 射频电源 | 标准功率(kW) | 1 |
| 频率(MHz) | 13.56 | |
| 气体控制 | 最多支持三路 | 标配2路，可选配3路 |
| 控制系统 | 人机界面 | PC+触摸显示屏 |
| 远程接口 | 通讯 | 选配 |
| 真空泵 | 可选干泵 | 17CFM |
| 可选油泵 | 195CFM | |
| 可选带吹扫功能干泵 | YES | |
| 氮气吹扫流量(SLM) | 2 | |
| 抽真空时间(S) | 10-15 | |
| 破真空时间(S) | 3-4 | |
| 厂务设施 | 电源 | 三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵) |
| 工艺气体管路尺寸&类型 | 1/4inch Swagelok | |
| 工艺气体纯度 | 工业级及以上 | |
| 工艺气体压力(psig) | 10-20 | |
| 吹扫气体管路尺寸&类型 | 1/4inch Swagelok | |
| 吹扫气体纯度 | 工业级及以上 | |
| 吹扫气体压力(psig) | 15 | |
| 气动阀门管路尺寸&类型 | 10mm push-in fitting | |
| 气动气体纯度 | 压缩空气，无油，露点≤7℃,颗粒<5 | |
| 气动气体压力(psig) | 70-90 | |
| 压缩空气排气管路(mm) | 中8 | |
| 合规 | 认证 | SEMI |
| 辅助设备 | 氮气发生器(可选) | 有氮气吹扫功能需求时选配 |
| 水冷机(可选) | 配置冷却功能电极时选配 | |
| 氢气工具包(可选) | 使用氢气进行处理时选配 | |
| 尾气处理机(可选) | 含氟气体处理时的尾气处理选配 | |
| 运输 | 总重量(kg) | 1050 |
| 包装件数 | 1 | |
| 包装符合SPM15标准 | YES | |
