● 真空腔体采用不锈钢制作而成
● 超低温：温度低至40度
● 全方位表面清洗：异向等离子体可以进入超细狭缝清洗
● 环保：处理前后无有害物质产生，远离有害溶剂对人体的伤害
● 稳定：连续性和恒定性来维持机器设备运行时的稳定性
● 清洗：去除灰尘和油污，精细清洗和去静电
● 活化：提高表面的附着能力，物体表面能大幅增加
● 褪镀：AF/AS层褪镀
| 功能配置 | 技术参数 | |||
| 型号 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
| 外形尺寸(mm) | L1200×W920×H1690 | |||
| 真空腔内尺寸(mm) | L=403、W=400、H=403 | L=450、W=400、H=450 | L=470、W=460、H=470 | L=500、W=600、H=500 |
| 真空腔材质 | 不锈钢 | |||
| 电极板尺寸(mm) | 319(W)×374(L) | 320(W)×420(L) | 430(W)×440(L) | 470(L)×570(W) |
| 电极板材质 | 专用铝电极 | |||
| 重量(kg) | 425 | 450 | 475 | 500 |
| 控制 | PLC+触摸屏 | |||
| 电极板结构 | 水平8层或宫格式 | |||
| 真空泵系统 | 两级油旋片真空泵 | |||
| 真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 | |||
| 气体测量系统 | 质量流量0-100(可自选) | |||
| RF电源 | 高精密0-500W/0-1000W电源 | |||
| RF电源匹配器 | 高精密0-500W/0-1000W自动匹配器 | |||
| 工作真空度(Pa) | 10-100 | |||
| 真空泵极限压力(Pa) | 5×10⁻¹ | |||
| 抽真空时间(S) | ≤50 | ≤70 | ≤80 | ≤100 |
| 破真空时间(S) | ≤15 | ≤20 | ≤20 | ≤30 |
| 气体控制范围(SCCM) | 质量流量0-100(可自选) | |||
| 操作模式 | 人工取放，一键全自动操作 | |||
| 电源(V) | 三相380 | |||
| 总功率(kW) | 4 | |||
