VP-10S 片式真空等离子清洗机#等离子清洗技术
设备系统PC控制，支持主流多种通讯协议；
设备依SEMI安全生产标准设计生产；
通道设计产能高，UPH 400~550pcs；
适用多种产品尺寸及弹夹；
MFC晶圆级专利设计，防止气体泄漏引发安全事故；
腔体高密封专利设计最高可达5pa以内；
水滴角<30°(与清洁表面材质相关)。
VP-10L 在线式真空等离子清洗机
输送机构采用电动调幅，宽窄可调节；在线式输送系统，可与前后设备通讯接驳；
真空腔体采用铝合金制作而成；
超低温：温度低至40度；
全方位表面清洗：异向等离子体可以进入超细狭缝清洗。
AP-3P 在线式常压等离子清洗机
活化：大幅提高表面的润湿性能，形成活性的表面；
清洗：去除灰尘和油污，精细清洗和去静电；
提高表面的附着能力；
提高表面粘接的可靠性和持久性。
